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ISSN  

12250562

저자명  

서유석

서명/저자  

통계적 실험 방법에 의한 Ta 박막의 증착 특성 연구 / 서유석 , 박대규, 정철모, 김상범, 손평근, 이승진, 김한민, 양홍선, 박진원 공저

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2001.

형태사항  

pp. 492-497

주기사항  

권말 색인및 참고문헌수록

기타저자  

박대규, 정철모, 김상범, 손평근, 이승진, 김한민, 양홍선, 박진원

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 11, No. 6, (2001 June) 2001, 06

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kjul:60218359