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 기사

ISSN  

12250562

저자명  

이상현

서명/저자  

사점굽힘시험법을 이용한 이종절연막(Si/SiO₂∥Si₃N₄/Si) SOI 기판쌍의 접합강도 연구 / 이상현 , 송오성 공저

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2002.

형태사항  

pp. 508-512

주기사항  

권말 참고문헌 수록

기타저자  

송오성

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 12, No. 6, (2002 June) 2002, 06

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