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사점굽힘시험법을 이용한 이종절연막(Si/SiO₂∥Si₃N₄/Si) SOI 기판쌍의 접합강도 연구
사점굽힘시험법을 이용한 이종절연막(Si/SiO₂∥Si₃N₄/Si) SOI 기판쌍의 접합강도 연구
상세정보
MARC
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■1001 ▼a이상현
■24510▼a사점굽힘시험법을 이용한 이종절연막(Si/SiO₂∥Si₃N₄/Si) SOI 기판쌍의 접합강도 연구 ▼d이상현▼e송오성 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2002.
■300 ▼app. 508-512
■500 ▼a권말 참고문헌 수록
■7001 ▼a송오성
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 12, No. 6, (2002 June)▼d2002, 06
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014210▼b60055267▼h8▼s2▼fP
