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PACVD 방법으로 TiN 코팅시 공정변수가 작은 동공 내부의 코팅층 형성에 미치는 영향
PACVD 방법으로 TiN 코팅시 공정변수가 작은 동공 내부의 코팅층 형성에 미치는 영향
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 김덕재
- 서명/저자
- PACVD 방법으로 TiN 코팅시 공정변수가 작은 동공 내부의 코팅층 형성에 미치는 영향 / 김덕재 , 조영래, 백종문, 곽종구 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 441-447
- 주기사항
- 권말 색인및 참고문헌수록
- 기타저자
- 조영래, 백종문, 곽종구
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218321
MARC
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