자료유형  

 기사

ISSN  

12250562

저자명  

박상기

서명/저자  

Ti/Si의 조성비율이 다른 타겟을 이용한 sputtered Ti-Si-N 박막의 증착특성 연구 / 박상기 , 강봉주, 양희정, 이원희, 이은구, 김희재, 이재갑 공저

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2001.

형태사항  

pp. 580-584

주기사항  

권말 색인및 참고문헌수록

기타저자  

강봉주, 양희정, 이원희, 이은구, 김희재, 이재갑

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 11, No. 7, (2001 July) 2001, 07

원문정보  

 url

모체레코드  

모체정보확인

Control Number  

kjul:60218259