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열처리 온도에 따른 니켈실리사이드 실리콘 기판쌍의 직접접합
열처리 온도에 따른 니켈실리사이드 실리콘 기판쌍의 직접접합
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 송오성,
- 서명/저자
- 열처리 온도에 따른 니켈실리사이드 실리콘 기판쌍의 직접접합 송오성, 안영숙, 이영민, 양철웅 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 556-561
- 주기사항
- 권말 색인및 참고문헌수록
- 기타저자
- 안영숙, 이영민, 양철웅
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218246
MARC
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