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rf PECVD법으로 증착된 DLC film의 광학적 성질
rf PECVD법으로 증착된 DLC film의 광학적 성질
상세정보
MARC
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■1001 ▼a김문협
■24510▼arf PECVD법으로 증착된 DLC film의 광학적 성질▼d김문협▼e송재진, 김성진 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2001.
■300 ▼app. 550-555
■500 ▼a 권말 색인및 참고문헌수록
■7001 ▼a송재진, 김성진
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 11, No. 7, (2001 July)▼d2001, 07
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014199▼b60055267▼h8▼s2▼fP
