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ISSN  

12250562

저자명  

오경영

서명/저자  

MOS 소자용 silicon carbide의 열산화막 생성 및 특성 / 오경영 , 이계홍, 장성주 공저

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2002.

형태사항  

pp. 327-333

주기사항  

권말 참고문헌 수록

기타저자  

이계홍, 장성주

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 12, No. 5, (2002 May) 2002, 05

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kjul:60218236