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ICP 스퍼터를 이용한 TMR 소자 제작에서 절연막의 플라즈마 산화시간에 따른 미세구조 및 자기적 특성 변화
ICP 스퍼터를 이용한 TMR 소자 제작에서 절연막의 플라즈마 산화시간에 따른 미세구조 및 자기적...
ICP 스퍼터를 이용한 TMR 소자 제작에서 절연막의 플라즈마 산화시간에 따른 미세구조 및 자기적 특성 변화

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12250562
저자명  
이영민
서명/저자  
ICP 스퍼터를 이용한 TMR 소자 제작에서 절연막의 플라즈마 산화시간에 따른 미세구조 및 자기적 특성 변화 / 이영민 , 송오성 공저
발행사항  
서울 : 한국재료학회, 2001.
형태사항  
pp. 900-906
주기사항  
권말 색인및 참고문헌수록
기타저자  
송오성
기본자료저록  
한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 11, No. 10, (2001 Octoberl) 2001, 10
원문정보  
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모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
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MARC

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