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ICP 스퍼터를 이용한 TMR 소자 제작에서 절연막의 플라즈마 산화시간에 따른 미세구조 및 자기적 특성 변화
ICP 스퍼터를 이용한 TMR 소자 제작에서 절연막의 플라즈마 산화시간에 따른 미세구조 및 자기적 특성 변화
상세정보
MARC
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■24510▼aICP 스퍼터를 이용한 TMR 소자 제작에서 절연막의 플라즈마 산화시간에 따른 미세구조 및 자기적 특성 변화▼d이영민▼e 송오성 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2001.
■300 ▼app. 900-906
■500 ▼a 권말 색인및 참고문헌수록
■7001 ▼a송오성
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 11, No. 10, (2001 Octoberl)▼d2001, 10
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
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