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Mesh-type PECVD를 이용한 DC-bias인가 및 수소가스 첨가에 따른 저수소화 비정질 실리콘 박막에 관한 연구
Mesh-type PECVD를 이용한 DC-bias인가 및 수소가스 첨가에 따른 저수소화 비정질 실리콘 박막에 관한 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 류세원
- 서명/저자
- Mesh-type PECVD를 이용한 DC-bias인가 및 수소가스 첨가에 따른 저수소화 비정질 실리콘 박막에 관한 연구 / 류세원 , 권도현, 박성계, 남승의, 김형준 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 235-239
- 주기사항
- 권말 참고문헌 수록
- 기타저자
- 권도현, 박성계, 남승의, 김형준
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218171
MARC
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