서브메뉴
검색
전기로를 이용한 Si ∥SiO₂/Si₃N₄∥ Si 이종기판쌍의 직접접합
전기로를 이용한 Si ∥SiO₂/Si₃N₄∥ Si 이종기판쌍의 직접접합
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 이상현
- 서명/저자
- 전기로를 이용한 Si ∥SiO₂/Si₃N₄∥ Si 이종기판쌍의 직접접합 / 이상현 , 이상돈, 서태윤, 송오성 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 117-120
- 주기사항
- 권말 참고문헌 수록
- 기타저자
- 이상돈, 서태윤, 송오성
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218105
MARC
008190603s2002 ulk aa kor■022 ▼a12250562
■1001 ▼a이상현
■24510▼a전기로를 이용한 Si ∥SiO₂/Si₃N₄∥ Si 이종기판쌍의 직접접합 ▼d이상현▼e이상돈, 서태윤, 송오성 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2002.
■300 ▼app. 117-120
■500 ▼a권말 참고문헌 수록
■7001 ▼a이상돈, 서태윤, 송오성
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 12, No. 2, (2002 February)▼d2002, 02
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014206▼b60055267▼h8▼s2▼fP
