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MOCVD법과 MOD 법으로 제작된 Ta2O5 박막의 열처리 온도에 따른 유전특성연규
MOCVD법과 MOD 법으로 제작된 Ta2O5 박막의 열처리 온도에 따른 유전특성연규
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 강필규
- 서명/저자
- MOCVD법과 MOD 법으로 제작된 Ta2O5 박막의 열처리 온도에 따른 유전특성연규 / 강필규 , 진정근 변동진 배재준 남 산 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 801-805
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 진정근 변동진 배재준 남 산
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218002
MARC
008190603s2003 ulk aa kor■022 ▼a12250562
■1001 ▼a강필규
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■7001 ▼a진정근 변동진 배재준 남 산
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 13, No. 12, (2003 Devember)▼d2003, 12
■SIS ▼aS014228▼b60055267▼h8▼s2▼fP
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