서브메뉴
검색
BCI3 기반의 혼합가스들을 이용한 InP 고밀도 유도결합 플라즈마 식각
BCI3 기반의 혼합가스들을 이용한 InP 고밀도 유도결합 플라즈마 식각
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 조관식
- 서명/저자
- BCI3 기반의 혼합가스들을 이용한 InP 고밀도 유도결합 플라즈마 식각 / 조관식 , 임완태 백인규 이재원 전민현 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 775-778
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 임완태 백인규 이재원 전민현
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60217997
MARC
008190603s2003 ulk aa kor■022 ▼a12250562
■1001 ▼a조관식
■24510▼aBCI3 기반의 혼합가스들을 이용한 InP 고밀도 유도결합 플라즈마 식각▼d조관식▼e임완태 백인규 이재원 전민현 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2003.
■300 ▼app. 775-778
■500 ▼a권말 색인 및 참고문헌 수록
■7001 ▼a임완태 백인규 이재원 전민현
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 13, No. 12, (2003 Devember)▼d2003, 12
■SIS ▼aS014228▼b60055267▼h8▼s2▼fP
