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BCI3 기반의 혼합가스들을 이용한 InP 고밀도 유도결합 플라즈마 식각
BCI3 기반의 혼합가스들을 이용한 InP 고밀도 유도결합 플라즈마 식각
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 조관식
- 서명/저자
- BCI3 기반의 혼합가스들을 이용한 InP 고밀도 유도결합 플라즈마 식각 / 조관식 , 임완태 백인규 이재원 전민현 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 775-778
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 임완태 백인규 이재원 전민현
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60217997
MARC
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■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 13, No. 12, (2003 Devember)▼d2003, 12
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