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TFT-LCDs 게이트 전극에 적용한 Cu(Mg)합금 박막의 건식식각
TFT-LCDs 게이트 전극에 적용한 Cu(Mg)합금 박막의 건식식각
상세정보
MARC
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■1001 ▼a양희정
■24510▼aTFT-LCDs 게이트 전극에 적용한 Cu(Mg)합금 박막의 건식식각▼d양희정▼e이재갑 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2004.
■300 ▼app. 46-51
■500 ▼a권말 색인 및 참고문헌 수록
■7001 ▼a이재갑
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 14, No. 1, (2004 January)▼d2004, 01
■SIS ▼aS014229▼b60055267▼h8▼s2▼fP


