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원료물질에 따른 실리콘 질화막의 원자충 증착 특성 비교
원료물질에 따른 실리콘 질화막의 원자충 증착 특성 비교
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12250562
- Author
- 이원준
- Title/Author
- 원료물질에 따른 실리콘 질화막의 원자충 증착 특성 비교 / 이원준 ; 이주현 이연승 나사균 박종욱 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국재료학회, 2004.
- Material Info
- pp. 141-145
- General Note
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 이주현 이연승 나사균 박종욱
- Host Item Entry
- 한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 14, No. 2, (2004 February) 2004, 02
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60217979
MARC
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