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플라즈마 가스와 RF 파워에 따른 NiO 박막의 우선배향성 및 표면형상 변화
플라즈마 가스와 RF 파워에 따른 NiO 박막의 우선배향성 및 표면형상 변화
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 류현욱
- 서명/저자
- 플라즈마 가스와 RF 파워에 따른 NiO 박막의 우선배향성 및 표면형상 변화 / 류현욱 , 최광표 노효섭 박용주 권용 박진성 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 121-125
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 최광표 노효섭 박용주 권용 박진성
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60217976
MARC
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