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차세대 공정에 적용 가능한 Cu(B)/Ti/SiO2/Si 구조 연구
차세대 공정에 적용 가능한 Cu(B)/Ti/SiO2/Si 구조 연구
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MARC
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■24510▼a차세대 공정에 적용 가능한 Cu(B)/Ti/SiO2/Si 구조 연구▼d이섭▼e이재갑 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2004.
■300 ▼app. 246-250
■500 ▼a권말 색인 및 참고문헌 수록
■7001 ▼a이재갑
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 14, No. 4, (2004 April)▼d2004, 04
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