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ZnO ALE 를 위한 Si, sapphire기판의 ECR 플라즈마 전처리
ZnO ALE 를 위한 Si, sapphire기판의 ECR 플라즈마 전처리
Detailed Information
MARC
008190603s2004 ulk aa kor■022 ▼a12250562
■1001 ▼a임종민
■24510▼aZnO ALE 를 위한 Si, sapphire기판의 ECR 플라즈마 전처리▼d임종민▼e신경철 이종무 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2004.
■300 ▼app. 363-367
■500 ▼a권말 색인 및 참고문헌 수록
■7001 ▼a신경철 이종무
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 14, No. 5, (2004 May)▼d2004, 05
■SIS ▼aS014233▼b60055267▼h8▼s2▼fP
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