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직접접합 실리콘/실리콘질화막//실리콘산화막/실리콘 기판쌍의 선형가열에 의한 보이드 결함 제거
직접접합 실리콘/실리콘질화막//실리콘산화막/실리콘 기판쌍의 선형가열에 의한 보이드 결함 제거
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 정영순
- 서명/저자
- 직접접합 실리콘/실리콘질화막//실리콘산화막/실리콘 기판쌍의 선형가열에 의한 보이드 결함 제거 / 정영순 , 송오성 김득중 주영철 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 315-321
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 송오성 김득중 주영철
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60217915
MARC
008190603s2004 ulk aa kor■022 ▼a12250562
■1001 ▼a정영순
■24510▼a직접접합 실리콘/실리콘질화막//실리콘산화막/실리콘 기판쌍의 선형가열에 의한 보이드 결함 제거▼d정영순▼e송오성 김득중 주영철 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2004.
■300 ▼app. 315-321
■500 ▼a권말 색인 및 참고문헌 수록
■7001 ▼a송오성 김득중 주영철
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 14, No. 5, (2004 May)▼d2004, 05
■SIS ▼aS014233▼b60055267▼h8▼s2▼fP
