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Bonded SOI Wafer의 Top SI과 Buried oxide layer 의 결함에 대한 연구
Bonded SOI Wafer의 Top SI과 Buried oxide layer 의 결함에 대한 연구
Detailed Information
MARC
008190603s2004 ulk aa kor■022 ▼a12250562
■1001 ▼a김석구
■24510▼aBonded SOI Wafer의 Top SI과 Buried oxide layer 의 결함에 대한 연구▼d김석구▼e백운규 박재근 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2004.
■300 ▼app. 413-419
■500 ▼a권말 색인 및 참고문헌 수록
■7001 ▼a백운규 박재근
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 14, No. 6, (2004 June)▼d2004, 06
■SIS ▼aS014234▼b60055267▼h8▼s2▼fP
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