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Wsi2 word-line 및 bit-line용 spacer-Si3/N3 박막의 증착
Wsi2 word-line 및 bit-line용 spacer-Si3/N3 박막의 증착
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 안승준
- 서명/저자
- Wsi2 word-line 및 bit-line용 spacer-Si3/N3 박막의 증착 / 안승준 , 김대욱 김종해 안성준 김영정 김호섭 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 402-406
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 김대욱 김종해 안성준 김영정 김호섭
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60217905
MARC
008190603s2004 ulk aa kor■022 ▼a12250562
■1001 ▼a안승준
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■7001 ▼a김대욱 김종해 안성준 김영정 김호섭
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 14, No. 6, (2004 June)▼d2004, 06
■SIS ▼aS014234▼b60055267▼h8▼s2▼fP
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