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Wsi2 word-line 및 bit-line용 spacer-Si3/N3 박막의 증착
Wsi2 word-line 및 bit-line용 spacer-Si3/N3 박막의 증착
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 안승준
- 서명/저자
- Wsi2 word-line 및 bit-line용 spacer-Si3/N3 박막의 증착 / 안승준 , 김대욱 김종해 안성준 김영정 김호섭 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 402-406
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 김대욱 김종해 안성준 김영정 김호섭
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60217905
MARC
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