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FeRAM 소자 제작 중에 발생하는 Pt/Al 반응 기구
FeRAM 소자 제작 중에 발생하는 Pt/Al 반응 기구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 조경원
- 서명/저자
- FeRAM 소자 제작 중에 발생하는 Pt/Al 반응 기구 / 조경원 , 홍태환, 권순용, 최시경 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 688-695
- 주기사항
- 권말 색인및 참고문헌수록
- 기타저자
- 홍태환, 권순용, 최시경
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60217834
MARC
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