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ISSN  

12250562

저자명  

김재운

서명/저자  

RF-PECVD 법으로 제조된 비정질 BON박막의 산화 / 김재운 , 부진효, 이동복 공저

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2004.

형태사항  

pp. 683-687

주기사항  

권말 색인및 참고문헌수록

기타저자  

부진효, 이동복

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 14, No. 10, (2004 Octoberl) 2004, 10

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kjul:60217831