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RF-PECVD 법으로 제조된 비정질 BON박막의 산화
RF-PECVD 법으로 제조된 비정질 BON박막의 산화
상세정보
MARC
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■1001 ▼a김재운
■24510▼aRF-PECVD 법으로 제조된 비정질 BON박막의 산화▼d김재운▼e부진효, 이동복 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2004.
■300 ▼app. 683-687
■500 ▼a권말 색인및 참고문헌수록
■7001 ▼a부진효, 이동복
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 14, No. 10, (2004 Octoberl)▼d2004, 10
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014238▼b60055267▼h8▼s2▼fP
