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PE-ALD를 이용한 SnO2 Thin Film의 특성
PE-ALD를 이용한 SnO2 Thin Film의 특성
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 박용주
- 서명/저자
- PE-ALD를 이용한 SnO2 Thin Film의 특성 / 박용주 , 이운영, 최용국, 이현규, 박진성 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 840-845
- 주기사항
- 권말 색인및 참고문헌수록
- 기타저자
- 이운영, 최용국, 이현규, 박진성
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60217788
MARC
008190531s2004 ulk aa kor■022 ▼a12250562
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■7001 ▼a이운영, 최용국, 이현규, 박진성
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 14, No. 12, (2004 Devember)▼d2004, 12
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014240▼b60055267▼h8▼s2▼fP
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