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Cu-CMP에서 Alanine이 Cu와 TaN의 선택비에 미치는 영향
Cu-CMP에서 Alanine이 Cu와 TaN의 선택비에 미치는 영향
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 박진형
- 서명/저자
- Cu-CMP에서 Alanine이 Cu와 TaN의 선택비에 미치는 영향 / 박진형 , 김민석, 백운규, 박재근 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 426-430
- 주기사항
- 권말 색인및 참고문헌수록
- 기타저자
- 김민석, 백운규, 박재근
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60217741
MARC
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