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연속 ECR-CVD 조업하에 RF-magnetron-sputter의 싸이클조업을 통해 PET위에 올려진 구리박막의 특성
연속 ECR-CVD 조업하에 RF-magnetron-sputter의 싸이클조업을 통해 PET위에 올려진 구리박막의 특성
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 명종윤
- 서명/저자
- 연속 ECR-CVD 조업하에 RF-magnetron-sputter의 싸이클조업을 통해 PET위에 올려진 구리박막의 특성 / 명종윤 , 전법주, 변동진, 이중기 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 465-472
- 주기사항
- 권말 색인및 참고문헌수록
- 기타저자
- 전법주, 변동진, 이중기
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60217712
MARC
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■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 15, No. 7, (2005 July)▼d2005, 07
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