서브메뉴
검색
연속 ECR-CVD 조업하에 RF-magnetron-sputter의 싸이클조업을 통해 PET위에 올려진 구리박막의 특성
연속 ECR-CVD 조업하에 RF-magnetron-sputter의 싸이클조업을 통해 PET위에 올려진 구리박막의 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 명종윤
- 서명/저자
- 연속 ECR-CVD 조업하에 RF-magnetron-sputter의 싸이클조업을 통해 PET위에 올려진 구리박막의 특성 / 명종윤 , 전법주, 변동진, 이중기 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 465-472
- 주기사항
- 권말 색인및 참고문헌수록
- 기타저자
- 전법주, 변동진, 이중기
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60217712
MARC
008190531s2005 ulk aa kor■022 ▼a12250562
■1001 ▼a명종윤
■24510▼a연속 ECR-CVD 조업하에 RF-magnetron-sputter의 싸이클조업을 통해 PET위에 올려진 구리박막의 특성▼d명종윤▼e전법주, 변동진, 이중기 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2005.
■300 ▼app. 465-472
■500 ▼a권말 색인및 참고문헌수록
■7001 ▼a전법주, 변동진, 이중기
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 15, No. 7, (2005 July)▼d2005, 07
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014247▼b60055267▼h8▼s2▼fP
