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게이트를 상정한 니켈 실리사이드 박막의 물성과 미세구조 변화
게이트를 상정한 니켈 실리사이드 박막의 물성과 미세구조 변화
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 정영순
- 서명/저자
- 게이트를 상정한 니켈 실리사이드 박막의 물성과 미세구조 변화 / 정영순 , 송오성, 김상엽, 최용윤, 김종준 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 301-305
- 주기사항
- 권말 색인및 참고문헌수록
- 기타저자
- 송오성, 김상엽, 최용윤, 김종준
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60217656
MARC
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■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 15, No. 5, (2005 May)▼d2005, 05
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014245▼b60055267▼h8▼s2▼fP
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