MARC

 008190531s2005        ulk                          aa    kor
■022    ▼a12250562
■1001  ▼a유승열
■24510▼a고밀도  평판형  유도결합  BCl3/SF6  플라즈마를  이용한  GaAs/AlGaAs와  InGaP  반도체의  선택적  식각에  관한  연구▼d유승열▼e  류현우,  임완태,  이제원,  조관식,  전민현,  송한정,  이봉주,  고종수,  고정상  공저
■260    ▼a서울▼b한국재료학회▼c2005.
■300    ▼app.  161-165
■500    ▼a권말  색인및  참고문헌수록
■7001  ▼a류현우,  임완태,  이제원,  조관식,  전민현,  송한정,  이봉주,  고종수,  고정상
■773    ▼t한국재료학회지(Korean  Journal  of  Materials  Research)▼gVol.  15,  No.  3,  (2005  March)▼d2005,  03
■856    ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS    ▼aS014243▼b60055267▼h8▼s2▼fP

Preview

Export

ChatGPT Discussion

AI Recommended Related Books