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ISSN  

12250562

저자명  

김희철,

서명/저자  

원자층 증착법으로 성장한 HfO2 박막의 제조 김희철, 김민완, 김형수, 김혁종, 손우근, 정봉교, 김석환, 이상우, 최병호 공저

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2005.

형태사항  

pp. 275-280

주기사항  

권말 색인및 참고문헌수록

기타저자  

김민완, 김형수, 김혁종, 손우근, 정봉교, 김석환, 이상우, 최병호

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 15, No. 4, (2005 April) 2005, 04

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