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원거리 플라즈마 ALD법으로 증착한 ZrN박막의 특성 연구
원거리 플라즈마 ALD법으로 증착한 ZrN박막의 특성 연구
상세정보
MARC
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■1001 ▼a조승찬
■24510▼a원거리 플라즈마 ALD법으로 증착한 ZrN박막의 특성 연구▼d조승찬▼e황윤철, 이근우, 한세진, 김인배, 전형탁, 김양도 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2005.
■300 ▼app. 594-597
■500 ▼a권말 색인및 참고문헌수록
■7001 ▼a황윤철, 이근우, 한세진, 김인배, 전형탁, 김양도
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 15, No. 9, (2005 September)▼d2005, 09
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS016204▼b60055267▼h8▼s2▼fP
