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ISSN  

12250562

저자명  

조승찬

서명/저자  

원거리 플라즈마 ALD법으로 증착한 ZrN박막의 특성 연구 / 조승찬 , 황윤철, 이근우, 한세진, 김인배, 전형탁, 김양도 공저

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2005.

형태사항  

pp. 594-597

주기사항  

권말 색인및 참고문헌수록

기타저자  

황윤철, 이근우, 한세진, 김인배, 전형탁, 김양도

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 15, No. 9, (2005 September) 2005, 09

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Control Number  

kjul:60217596