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ZnO 성장을 위한 Atomic Layer Deposition법에서 공정온도가 박막의 구조적 및 광학적 특성에 미치는 영향
ZnO 성장을 위한 Atomic Layer Deposition법에서 공정온도가 박막의 구조적 및 광학적 특성에 미...
ZnO 성장을 위한 Atomic Layer Deposition법에서 공정온도가 박막의 구조적 및 광학적 특성에 미치는 영향

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12250562
저자명  
임종민
서명/저자  
ZnO 성장을 위한 Atomic Layer Deposition법에서 공정온도가 박막의 구조적 및 광학적 특성에 미치는 영향 / 임종민 , 이종무 공저
발행사항  
서울 : 한국재료학회, 2005.
형태사항  
pp. 741-744
주기사항  
권말 색인및 참고문헌수록
기타저자  
이종무
기본자료저록  
한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 15, No. 11, (2005 November) 2005, 11
원문정보  
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모체레코드  
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Control Number  
kjul:60217504

MARC

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