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ZnO 성장을 위한 Atomic Layer Deposition법에서 공정온도가 박막의 구조적 및 광학적 특성에 미치는 영향
ZnO 성장을 위한 Atomic Layer Deposition법에서 공정온도가 박막의 구조적 및 광학적 특성에 미치는 영향
상세정보
MARC
008190531s2005 ulk aa kor■022 ▼a12250562
■1001 ▼a임종민
■24510▼aZnO 성장을 위한 Atomic Layer Deposition법에서 공정온도가 박막의 구조적 및 광학적 특성에 미치는 영향 ▼d임종민▼e이종무 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2005.
■300 ▼app. 741-744
■500 ▼a권말 색인및 참고문헌수록
■7001 ▼a이종무
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 15, No. 11, (2005 November)▼d2005, 11
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS017195▼b60055267▼h8▼s2▼fP


