서브메뉴
검색
연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 AI CMP 슬러리 평가
연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 AI CMP 슬러리 평가
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 차남구
- 서명/저자
- 연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 AI CMP 슬러리 평가 / 차남구 , 감영재,김인권,김규채,박진구 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 731-738
- 주기사항
- 권말 색인및 참고문헌수록
- 기타저자
- 감영재,김인권,김규채,박진구
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60217359
MARC
008190531s2006 ulk aa kor■022 ▼a12250562
■1001 ▼a차남구
■24510▼a연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 AI CMP 슬러리 평가▼d차남구 ▼e감영재,김인권,김규채,박진구 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2006.
■300 ▼app. 731-738
■500 ▼a권말 색인및 참고문헌수록
■7001 ▼a감영재,김인권,김규채,박진구
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 16, No. 12, (2006 Devember)▼d2006, 12
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS036954▼b60055267▼h8▼s2▼fP
Preview
Export
ChatGPT Discussion
AI Recommended Related Books
detalle info
- Reserva
- No existe
- Mi carpeta
- Reference Materials for Thesis Writing
- Reference Materials for Research Ethics
- Job-Related Books
