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연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 AI CMP 슬러리 평가
연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 AI CMP 슬러리 평가
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 차남구
- 서명/저자
- 연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 AI CMP 슬러리 평가 / 차남구 , 감영재,김인권,김규채,박진구 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 731-738
- 주기사항
- 권말 색인및 참고문헌수록
- 기타저자
- 감영재,김인권,김규채,박진구
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60217359
MARC
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