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ICP-RIE를 이용한 저압용 실리콘 압력센서 제작
ICP-RIE를 이용한 저압용 실리콘 압력센서 제작 / 이영태 , Hidekuni Takao, Makato Ishida ...
ICP-RIE를 이용한 저압용 실리콘 압력센서 제작

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12255475
저자명  
이영태
서명/저자  
ICP-RIE를 이용한 저압용 실리콘 압력센서 제작 / 이영태 , Hidekuni Takao, Makato Ishida 공저
발행사항  
서울 : 한국센서학회, 2007.
형태사항  
pp. 126-131
주기사항  
권말 참고문헌 있음.
기타저자  
Hidekuni Takao, Makato Ishida
기본자료저록  
센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society : 제16권 제2호 (2007년 3월) 2007, 03
원문정보  
 url
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60216625

MARC

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