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ICP-RIE를 이용한 저압용 실리콘 압력센서 제작

자료유형: 기사

ISSN: 12255475

저자명: 이영태

서명/저자: ICP-RIE를 이용한 저압용 실리콘 압력센서 제작 / 이영태 , Hidekuni Takao, Makato Ishida 공저

발행사항: 서울 : 한국센서학회, 2007.

형태사항: pp. 126-131

주기사항: 권말 참고문헌 있음.

기타저자: Hidekuni Takao, Makato Ishida

기본자료저록: 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society : 제16권 제2호 (2007년 3월) 2007, 03

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모체레코드: 모체정보확인

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