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 기사

ISSN  

12255475

저자명  

고봉철

서명/저자  

SAW 소자 응용을 위한 실리콘 기판 위에 AIN 박막의 최적 증착 조건에 관한 연구 / 고봉철 , 남창우 공저

발행사항  

서울 : 한국센서학회, 2007.

형태사항  

pp. 301-306

주기사항  

권말 참고문헌 있음.

기타저자  

남창우

기본자료저록  

센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society : 제16권 제4호 (2007년 7월) 2007, 07

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Control Number  

kjul:60216511