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반도체 EDS공정에서의 패턴인식기법을 이용한 불량 유형 자동 분류 방법 연구
반도체 EDS공정에서의 패턴인식기법을 이용한 불량 유형 자동 분류 방법 연구
Detailed Information
MARC
008190111s2003 ulk aa kor■1001 ▼a한영신
■24510▼a반도체 EDS공정에서의 패턴인식기법을 이용한 불량 유형 자동 분류 방법 연구▼d한영신▼e황미영, 이칠기 공저
■260 ▼a서울▼b대한전자공학회▼c2003.
■300 ▼app. 703-706
■500 ▼a참고문헌 수록
■7001 ▼a황미영, 이칠기
■773 ▼t대한전자공학회 종합학술대회 논문집▼g2003년도 하계 II 제26권 제1호▼d2003, 07
■856 ▼uhttp://www.ieek.or.kr
■SIS ▼aS010144▼b60014492▼h8▼s2▼fP


