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Ta/TaNx Metal Gate Electrodes for Advanced CMOS Devices
Ta/TaNx Metal Gate Electrodes for Advanced CMOS Devices
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 15981657
- 저자명
- S.J. Lee
- 서명/저자
- Ta/TaNx Metal Gate Electrodes for Advanced CMOS Devices / S.J. Lee , 공저 D. L. Kwong
- 발행사항
- 서울 : 대한전자공학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 180-184
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 기타저자
- D. L. Kwong
- 기본자료저록
- Journal of Semiconductor Technology and Science : Volume 2, Number 4, (2002 December) 2002, 12
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60202542
MARC
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