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RF 전력과 산소 유량비에 따른 투명전극용 AZO박막의 특성 비교
RF 전력과 산소 유량비에 따른 투명전극용 AZO박막의 특성 비교
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 17388228
- Author
- 이종무
- Title/Author
- RF 전력과 산소 유량비에 따른 투명전극용 AZO박막의 특성 비교 / 이종무 ; 임근빈 공저
- Publish Info
- 서울 : 대한금속.재료학회, 2005.
- Material Info
- pp. 810-814
- General Note
- 참고문헌수록
- Added Entry-Personal Name
- 임근빈
- Host Item Entry
- 대한금속재료학회지=Journal of the Korean Institute of Metals and Mate : Vol.43 No.12 (2005년 12월) 2005, 12
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60201538
MARC
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