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웨이퍼 정렬법과 정밀도 평가
웨이퍼 정렬법과 정밀도 평가
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12259845
- 저자명
- 박홍래
- 서명/저자
- 웨이퍼 정렬법과 정밀도 평가 / 박홍래 , 유준 공저
- 발행사항
- 경기 : 제어.자동화.시스템공학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 812-817
- 주기사항
- 권말 참고문헌 있음.
- 기타저자
- 유준
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60199442
MARC
008181212s2002 ulk aa kor■022 ▼a12259845
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■773 ▼t제어.자동화.시스템공학 논문지=Journal of Control, Automation, and Syst▼g제8권 제9호 (2002년 9월)▼d2002, 09
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■SIS ▼aS014572▼b60055376▼h8▼s2▼fP
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