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반도체 부품 마크 미세 결함 검사를 위한 패턴 영역 분할 및 인식 방법
반도체 부품 마크 미세 결함 검사를 위한 패턴 영역 분할 및 인식 방법
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 19765622
- Author
- 장유정
- Title/Author
- 반도체 부품 마크 미세 결함 검사를 위한 패턴 영역 분할 및 인식 방법 / 장유정 ; 이정섭, 주효남, 김준식 공저
- Publish Info
- 경기 : 제어.로봇.시스템학회, 2010.
- Material Info
- pp. 913-917
- General Note
- 권말 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 이정섭, 주효남, 김준식
- Host Item Entry
- 제어.로봇.시스템학회 논문지 : 2010년 9월 (제16권 제9호) 2010, 09
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60198274
MARC
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