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 기사

ISSN  

12269883

저자명  

최치웅

서명/저자  

CFD를 이용한 CMP의 Pad Groove 형상 설계 연구 / 최치웅 , 이도형 공저

발행사항  

서울 : 유체기계공업학회(Korean Fluid Machinery, 2003.

형태사항  

pp. 21-28

주기사항  

권말 참고문헌 수록

일반주제명  

유체기계

기타저자  

이도형

기본자료저록  

유체기계저널(Journal of Fluid Machinery) : 제6권 제4호 (2003년 12월) 2003, 12

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Control Number  

kjul:60197991