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Low-Temperature Growth of ZnO Thin Films by Atomic Layer Deposition
Low-Temperature Growth of ZnO Thin Films by Atomic Layer Deposition
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 03744884
- 저자명
- E. H. Kim
- 서명/저자
- Low-Temperature Growth of ZnO Thin Films by Atomic Layer Deposition / E. H. Kim , D. H. Lee , B. H. chung , H. S. Kim , Y. Kim , S. J. Noh
- 발행사항
- 서울 : 한국물리학회, 2007.
- 형태사항
- pp. 1716-1718
- 기타저자
- D. H. Lee
- 기타저자
- B. H. chung
- 기타저자
- H. S. Kim
- 기타저자
- Y. Kim
- 기타저자
- S. J. Noh
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60145909
MARC
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