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용량결합고주파(ccrf) 방전 레이저를 위한 정합회로의 개발
용량결합고주파(ccrf) 방전 레이저를 위한 정합회로의 개발
상세정보
- 자료유형
- 기사
- 저자명
- 최상태
- 서명/저자
- 용량결합고주파(ccrf) 방전 레이저를 위한 정합회로의 개발 / 최상태 저
- 발행사항
- 경주 : 경주대학교 정보전자기술연구소, 2006.
- 형태사항
- pp. 131-142
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60145363
MARC
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