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하부전극 금속 종류에 따른 ALD-AI₂O₃ 박막의 전기적 특성 분석
하부전극 금속 종류에 따른 ALD-AI₂O₃ 박막의 전기적 특성 분석
상세정보
- 자료유형
- 기사
- 저자명
- 정영철
- 서명/저자
- 하부전극 금속 종류에 따른 ALD-AI₂O₃ 박막의 전기적 특성 분석 / 정영철 저
- 발행사항
- 경주 : 경주대학교 정보전자기술연구소, 2006.
- 형태사항
- pp. 101-114
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60145361
MARC
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